RIE-PE刻蚀机基本资料分析概述

　　RIE-PE刻蚀机其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
　　RIE-PE刻蚀机是在湿法腐蚀技术基础上发展起来的，属于纯化学性腐蚀。这种方法腐蚀均匀性好、损伤小，缺点是各向刻蚀同性，对于1μm以下的细线条线宽损失明显。所以，在等离子刻蚀的基础上改进反应结构和接电方式，出现了反应离子刻蚀。该方法加快了纵向的腐蚀速度，具有各向异性的腐蚀特点。
　　RIE-PE刻蚀机的主要优势：
　　1、超凡的印刷体字符打印效果
　　2、高可靠性：无需消耗品以及经久考验的二氧化碳激光管技术
　　3、无论对静止物品还是高速生产线上，喷码效果一样出色
　　4、信息打印方向无限制
　　5、可打印出各种类型的图形
　　6、zui少量的维护工作以及对环境无碍
　　RIE-PE刻蚀机的工作原理：
　　RIE-PE刻蚀机是用离子轰击工件并把能量转换到工件表面，从表面移出一个或多个原子的一种加工方式。即从离子源把离子引入到真空室中，离子平行且被加速地照射到工件上，从工件表面移出原子。在理想情况下，一个离子从表面移出一个原子，而不干扰任何邻近的原子。
　　离子刻蚀机由真空加工室、离子束发生器、离子引出和加速系统、离子中和器、束流检测档板、真空系统、供气及其控制系统、电源装置、计算机控制系统等主要部件组成。
　　RIE-PE刻蚀机的主要性能特点：
　　1、系统由计算机控制，通过触摸屏操作，参数设置灵活，可控性好；
　　2、采用特别技术离子束产生器，能量可控，适用不同产品蚀刻、抛光、减薄等形式加工，产品加工均匀性好；
　　3、*的栅网设计，保证束流的均匀性和稳定性，产品加工一致性和重复性好；
　　4、对材料无选择性，任何固体材料都可加工；
　　5、工件加工角度可在0°～90°之间任意变化；
　　6、6×10-6mbar无油超真空系统，保证系统在5×10-5～2×10-4 mbar的工作压力下稳定工作；
　　7、工艺安全，无污染。系统操作维护简单，运行成本低。