NMC-4000(M)MOCVD设备概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5x10-7Torr极限真空)、PC全自动控制，*的安全互锁。
目前，这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-4000(M)MOCVD设备特点：
台式系统
10英寸不锈钢腔体
带碰头气体分配器的射频等离子源
自动调节
4英寸基片夹、可加热到900°C
5个带独立冷却/加热的起泡器
加热气体管道
附加流量控制器
250升/秒涡轮分子泵组
5×10-7托基准压
电脑程序全自动驱动
仪器模拟用户界面
紧急按钮保护和安全互锁
MOCVD设备选配：
立式独立系统
感应耦合等离子或微波等离子源
14英寸电解抛光立方体腔体
8英寸或12英寸基片夹
6英寸可加热至700°C旋转基板台（4英寸可到950°C）
附加的起泡器和MFC
晶圆自动装载/卸载
可兼容集群配置
应用：
3到5族半导体层
蓝色发光二极管
激光二极管
紫外-可见光谱光电中的氮化铟纳米棒
3D或2D材料中的二硫化钼、氮化硼、石墨烯
产品分类
更新时间：2021-01-26 
浏览次数：1505
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