掩模板清洗机是一款带有小占地面积的理想设备，并且很容易安装在空间有限的超净间中。该系列设备都具有出众的清洗能力，并可用于非常广泛的基片。提供了可控的化学试剂滴胶能力，这使得颗粒从基片表面的去除能力得以进一步加强。SWC和LSC具备对点试剂滴胶系统，可以zui大程度节省化学试剂的用量的。滴胶系统支持可编程的化学试剂混合能力，提供了可控的化学试剂在整个基片上的分布。
掩模板清洗机应用：
1.带图案或不带图案的掩模版和晶圆片
2.Ge,GaAs以及InP晶圆片清洗
3.CMP处理后的晶圆片清洗
4.晶圆框架上的切粒芯片清洗
5.等离子刻蚀或光刻胶剥离后的清洗
6.带保护膜的分划版清洗
掩模板清洗机安装与使用：
1.设备安装工程的zui后验收，在设备调试合格后进行。由设备管理部门和工艺技术部门会同其他部门，在安装、检查、安全、使用等各方面有关人员共同参加下进行验收，做出鉴定，填写安装施工质量、精度检验、安全性能、试车运转记录等凭证和验收移交单由参加验收的各方人员签字方可竣工。
2.设备开箱验收、设备运转试验记录单由参加验收的各方人员签字后及随设备带来的技术文件，由设备管理部门纳入设备档案管理；随设备的配件、备品，应填写备件入库单，送交设备仓库入库保管。安全管理部门应就安装试验中的安全问题进行建档。
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更新时间：2023-02-20 
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