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更新时间：2017-08-17 
浏览次数：2785八月初，深圳先进院磁控溅射NSC-3500安装条件已具备，NANO-MASTER的工程师们为深圳先进院安装调试实施。
本套NSC-3500是带机械手臂的全自动控制型号，标准配置带有水冷或者加热(zui高可加热到700度)功能，zui大到6"旋转平台，zui大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3500 带有14"立方形不锈钢腔体，3个2"的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
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